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每经AI快讯,10月20日,中科仪公告,公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上,实施集成电路干式真空泵扩产项目。项目资金来源为自筹资金,项目拟投资42,313.48万元,其中中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资19,144.70万元,实施主体为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;中科仪(南通)半导体设备有限责任公司拟投资23,168.78万元,实施主体为中科仪(南通)半导体设备有限责任公司。
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